超純水帶電防止器 Anti-Static System for Ultra Pure Water

半導體製程中所使用之超純水, 其阻抗值大多已超過了15MegaOhm-cm的水準, 如此高純度的水中因幾乎已無離子之存在, 故超純水乃屬於非導體, 而靜電的產生正是發生在非導體與非導體之間的電子轉移, 在半導體製程中與超純水接觸的機會不少, 其中在晶圓切割及清洗部份算是接觸時間較長的部份, 所以必須降低超純水的阻抗值, 使超純水成為導電體, 則靜電自然不會蓄積, 也就不會產生靜電損害產品的情形!

如何降低超純水的阻抗值, 最簡單的就是加入離子, 但一般的金屬離子會造成超純水的二次污染, 所以早期為解決此問題而加入錳離子(Mn2+)的方式也早已被淘汰! 目前半導體業界所使用的最新方式乃是採用二氧化碳溶於超純水中, 由於二氧化碳在水中會解離為H++HCO3-, 自然也就有導電離子的產生, 阻抗值跟著降低, 靜電自然消除, 同時二氧化碳並不會還原成金屬粒子而造成其他問題, 故已成為半導體製程中防治靜電不可或缺的一環!

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